行业资讯

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芯片设备,多事之秋

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EUV薄膜,迎来新突破!

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碳纳米管(CNT)作为极紫外(EUV)光刻中使用的薄膜材料而备受关注。尽管CNT具有许多优点,但将其应用于EUV薄膜时,其生产方法是一个问题。芬兰的 Canat